差动电容式压力传感器的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器,在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,测量结果由差动式电路输出,它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。
过载时膜片受到凹面的保护而不致破损,差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难,特别是难以保证对称性,而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。
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